所謂激光清洗技術是指利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、銹斑或涂層發生瞬間蒸發或剝離，高速有效地清除清潔對象表面附著物或表面涂層，從而達到潔凈的工藝過程。

   它是基于激光與物質相互作用效應的一項新技術，與傳統的機械清洗法、化學清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機溶劑，無污染，無噪聲，對人體和環境無害，是一種“綠色”清洗技術。

   激光清洗與機械磨擦清洗、化學腐蝕清洗、液體固體強力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統清洗方法相比，有明顯的優點：

（1）它高效、快捷、成本低，對基片產生的熱負荷和機械負荷小，清洗為非損傷；

（2）廢物可回收，無環境污染；安全可靠，不損害操作人員健康；

（3）可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層；

（4）清潔過程易于實現自動化控制，實現遠距離遙控清洗等。